千島泵業(yè)-螺桿真空泵

一、概況

　　千島泵業(yè)變螺距螺桿真空泵具有兩個反向旋轉(zhuǎn)變螺距螺桿轉(zhuǎn)子，其在泵殼中作同步高速嚙合運動，完成進排氣工作循環(huán)。變螺距螺桿相比普通螺桿具有更好的壓縮和抽*率，排氣溫度更低、噪聲更小、能耗更低。變螺距螺桿真空泵的轉(zhuǎn)子型線采用自主設(shè)計的*線型，由一對斜齒齒輪驅(qū)動，以順時針方向轉(zhuǎn)動（從電機風扇端側(cè)觀察）。在螺桿轉(zhuǎn)動時，二個螺桿之間、螺桿和泵體之間都保持一定的間隙互不接觸，因而運轉(zhuǎn)時泵腔內(nèi)無摩擦，可以實現(xiàn)轉(zhuǎn)子的高轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)。依靠轉(zhuǎn)子間隙和泵腔間隙進行密封，將被抽氣體通過螺桿轉(zhuǎn)子平順地壓送到排氣口，并直接排出泵腔，螺桿兩端的油封確保齒輪箱內(nèi)的潤滑油無法進入泵腔內(nèi)部。螺桿真空泵為臥式結(jié)構(gòu)，采用聯(lián)軸器與電機直連。其泵腔無油運轉(zhuǎn)清潔環(huán)保，是油封式、噴射式、液環(huán)式真空泵的更好換代產(chǎn)品。變螺桿轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)客戶定制化設(shè)計與制造，更好滿足客戶需求。 廣泛應(yīng)用于電子光伏、醫(yī)療、醫(yī)藥化工、食品加工、包裝、石油化工、半導(dǎo)體等行業(yè)。

●在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上，主要有半導(dǎo)體等離子增強氣相沉淀和反映離子刻蝕工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿的CVD制程中。

●在石油化工生產(chǎn)上，主要是抽取可凝性氣體，或有害氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。

●在制藥行業(yè)上，主要用于藥物的真空干燥，醫(yī)藥中間體回收，回收氣體消毒劑等。

●在化工行業(yè)生產(chǎn)上，主要用于真空蒸餾及溶劑萃取回收。

●在食品行業(yè)生產(chǎn)上，主要用于香料、香精濃縮，包裝，脫水干燥。

二、千島泵業(yè)-螺桿真空泵 主要特點

●與等螺距螺桿泵相比，抽氣效率更高，能耗更低。

●抽速范圍廣，可直排大氣，單泵使用即可達到多級串聯(lián)的效果。單級設(shè)計可以獲得5PA的真空度。

●可采用氮氣吹掃，清洗維護操作簡單，維修方便。

●螺桿材質(zhì)為整體式球墨鑄鐵強度高、性能穩(wěn)定。

●螺桿間相互不接觸無摩擦，不需要潤滑油脂，無油污反流，無廢氣廢液排放，清潔環(huán)保能耗低。

●泵腔內(nèi)部及零件可根據(jù)需要進行防腐處理（鍍鎳或滲哈氏合金防腐），適用一般的腐蝕性工況。

●螺桿經(jīng)過精細動平衡校正，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪聲低、振動小，使用壽命長。

三、螺桿真空泵 規(guī)格參數(shù)

四、螺桿真空泵 剖面圖

五、螺桿真空泵 性能曲線

六、螺桿真空泵 外形尺寸

 七、羅茨螺桿真空機組

1、以螺桿泵為前級泵，羅茨泵為主泵，配置各類儀表、閥門、機架和電器控制系統(tǒng)組合而成。

2、抽氣范圍更廣、真空度更高，滿足客戶對高真空、大抽速的要求。

3、羅茨泵選用三葉羅茨真空泵，螺桿泵選用無油干式變螺距螺桿真空泵，按客戶要求是否防腐處理。

4、羅茨螺桿真空機組型號：LCVDP-300-280，LCVDP-600-300-280等，可按照客戶要求配置。